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Análisis dinámico de un posicionador nanométrico de estructura flexible mediante pruebas impulsivas y simulaciónDynamic study of a Nanometric Positioning System with flexure structure using experimental impulsive response and simulation
(2018-11-06)
Los sistemas de posicionamiento de ultraprecisión son utilizados en aplicaciones que demandan errores del orden de los nanómetros, tales como: microscopía, metrología, fabricación de MEMS, entre otras. Estos sistemas deben ...